Описание конструктивных узлов установок ELTROPULS
тел.: +7 915 260-56-26     
Технологии по обработке материалов
в плазме низкого давления.
ГлавнаяELTRO GmbHАзотирование в пульсирующей плазмеГалереяКонтакты
Принципиальная схема установок ELTROPULS для обработки в пульсирующей плазме
Конструктивные особенности плазменных установок ELTROPULS
Колпаковые печи
Шахтные печи
Системы Eltropuls

Описание конструктивных узлов установок ELTROPULS

Плазменные установки ELTROPULS состоят из следующих конструктивных узлов:

  • реципиент (термоизолированная печь);
  • вакуумная система;
  • газоснабжение;
  • электрический блок;
  • контроллер процесса.

Реципиент

Реципиент представляет собой термоизолированную печь с нагревом стенок. Он оснащен подводами: тока, замера температуры, газоснабжения, а также для подключения вакуума и измерения давления. Для визуального контроля встроено смотровое стекло.

В качестве материала используется жаропрочная хромоникелевая сталь. Надежная изоляция обеспечивает малые потерь тепла и способствует экономичности процесса. При необходимости интенсивность охлаждения садки можно повысить с помощью вентилятора.

Уплотнение фланцев представляет собой дифференциально-вакуумируемые кольца круглого сечения. При этом между двумя O-образными кольцами создается давление ниже, чем в рабочей камере. Такая сложная система уплотнения обеспечивает максимальную герметичность.

Уплотнительные фланцы для защиты колец круглого сечения охлаждаются водой. Для достижения по возможности изотермического температурного профиля в печи стенка печи термически отделена от фланцев. Нагрев стенки разделен на отдельно регулируемые нагревательные контуры.

Реципиент открывается и закрывается автоматически по команде оператора.

Вакуумная система

Вакуум в камере создается с помощью специально подобранной системы насосов. Она рассчитана с запасом и может при необходимости пропускать большие объемы газа для обеспечения равномерного распределения газа.

Давление измеряется независимо от вида газа с помощью прибора измерения абсолютного давления и регулируется посредством числа оборотов вакуумного насоса процессором.

Газоснабжение

Ввиду незначительного расхода газов снабжение газами осуществляется из обычных газовых баллонов. Газ забирается с помощью редуктора и подается в камеру через термический расходомер.

Для форсированного охлаждения инертным газом можно подавать по отдельному трубопроводу, например, азот.

Все горючие газы многократно блокируются как механическими, так и электронными средствами.

Электрический блок

Электрический блок генерирует пульсирующую плазму по запатентованной методике ЭЛЬТРОПУЛЬС с максимальным напряжением 600 В и с максимальной частотой 10 кГц. Кроме того, он обеспечивает регулируемую мощность для шести контуров нагрева.

Контроллер процесса

Установка оснащена всеми устройствами, необходимыми для поддержания тлеющего разряда, а также компьютерной электроникой для автоматического управления процессом обработки, включая требуемое программное обеспечение.

Управление процессом осуществляется посредством дисплея «Touch Screen». Указанные на дисплее элементы управления реагируют на прикосновение. После включения на дисплее появляется нижеследующее изображение.

eltropuls

На нем можно выделить четыре основных сегмента:

  • самый верхний — отображает статус (т.е. актуальное состояние);
  • ниже — планку предварительного выбора картинки;
  • ниже — сама картинка того или иного модуса;
  • в самом низу — планка, на которой, в зависимости от модуса, дополнительные возможности управления.

A) Schema — cхематичное изображение процесса позволяет оператору контролировать состояние важнейших параметров печи как:

PS номер актуального шага программы;
PS-Zeit отрезок времени актуального шага программы;
U напряжение плазмы;
I значение постоянного тока плазмы;
I puls значение пикового тока плазмы;
Pd продолжительность импульса;
Pw частота импульса;
TW1 — TW6 температура стенки печи (контур1-6);
Druck давление;
TL температура садки;
TC контрольная температура садки
H2 N2 CH4 Ar объем потока соответствующего газа.

Регулировке подлежат:

  • давление;
  • расход газов 1-4;
  • напряжение (ток, пиковый ток при приближении к соответствующему расчетному пределу);
  • длительность пульса/паузы;
  • температура обрабатываемых деталей;
  • контрольная температура;
  • температура стенки печи.


Программируются:

  • время;
  • давление;
  • расход газов 1-4;
  • напряжение;
  • температура обрабатываемых деталей;
  • температура стенки печи;
  • температурный градиент стенки;
  • длительность пульса;
  • частота пульсации.

Все указанные параметры могут выводиться по желанию в различных сочетаниях в виде протокола для отражения процесса на дисплее или принтере.

B) Errors/Fehler — сообщения о сбоях при протекании процесса

eltropuls

В этой маске указаны вид и время возникновения ошибки. Если компьютер не смог самостоятельно справиться с ошибкой, то установка отключается и включить её можно только, когда ошибка устранена.

C) Arhiv — На этой маске отображаются и хранятся все проведенные программы обработок.

eltropuls

Архив позволяет контролировать прошедшие процессы и распечатать любой из них в графическом виде.

D) Grafik — Дает графическое отображение процесса в режиме реального времени по всем основным параметрам. Можно, также, распечатать в растянутом или сжатом виде.

eltropuls

Компьютер позволяет запоминать и архивировать программы и визуализировать процесс. Опционально предусмотрена возможность контроля и управления установкой на расстоянии.

Процесс осуществляется полностью автоматически с помощью компьютера.

Алгоритмы оптимирования, стоящие над процессом регулирования, разрешают конфликты в отношении цели процесса, которые могут возникнуть в ходе выполнения процесса или из-за ошибочно запрограммированных параметров.

E) Programm — в этом модусе возможно задать новую программу или отредактировать старые.

eltropuls

После отключения установки программа остается в памяти компьютера. Она может быть также изменена в ходе выполнения процесса после ввода кодового слова.

Кроме того, компьютер контролирует состояние ресурсов и в случае неполадок осуществляет соответствующие операции для скорейшего их устранения.

F) Testen — стартует модус проверки аппаратной части установки.

G) Admin — позволяет доступ авторизированному персоналу для изменения параметров установки и актуализирования программного материала.

Примечание: Вся информация на дисплее и в распечатках принтера может выдаваться на любом языке.



тел.: +7 915 260-56-26     
Представительство в РФ: 119334, Москва, ул. Косыгина, д.5, оф. 296